U sistema di l'acqua di rinfrescamentu di u prucessu hè custituitu da e seguenti parti: chillers, pumps, heat exchangers, tanks d'acqua, filtri è equipaghji di prucessu.
Refrigeratore d'acqua: Fornite una fonte fredda per u sistema di rinfrescante d'acqua.
Pompa d'acqua: pressurizà l'acqua per assicurà a so circulazione in u sistema di rinfrescamentu.
Scambiatore di calore: Aduprate stu equipamentu per scambià u calore trà u sistema d'acqua refrigerata è u sistema d'acqua refrigerata per trasferisce u calore generatu à a fine di a carica di u sistema à u sistema d'acqua refrigerata.Ci sò parechji tippi di scambiatori di calore, chì ponu esse divisu in u tipu di shell-and-tube, plate type, plate-fin type, heat pipe type, etc., secondu a so forma.In paragone, u scambiatore di calore di piastra hà i vantaghji di una piccula impronta è una grande zona di trasferimentu di calore.Cunsiderendu e caratteristiche di u costu di u spaziu è l'area dia pianta semiconductor, l'equipaggiu cù una piccula impronta hè preferita per salvà u spaziu di a terra è u costu di l'ingegneria.
Cisterna d'acqua: U cisterna d'acqua in u sistema apertu ghjoca principarmenti u rolu di supplementà a fonte d'acqua.U cisterna d'acqua in u sistema chjusu hà bisognu di sceglie un tank d'acqua di espansione.U tank d'acqua di espansione hà trè funzioni.Unu hè di cuntene è cumpensà l'espansione è a cuntrazione di l'acqua in u sistema;l'altru hè di furnisce una pressione stabile à u sistema d'acqua circulante chjusu è ghjucà un rolu in l'estabilizazione di u sistema;U terzu hè cum'è una indicazione di a pompa di l'acqua di u sistema, di solitu u tank di espansione manda un signalu per inizià o chjude a pompa di l'acqua di u sistema.
filtru : filtrà a particella solidaCi hè dui sistemi relativamente indipendenti in u sistema di l'acqua di rinfrescante di u prucessu, l'acqua fridda è l'acqua di rinfrescante.L'acqua fridda hè furnita da u chiller, è l'acqua fridda è l'acqua di rinfrescante scambià u calore per rinfriscà l'acqua di rinfrescante è riduce a temperatura di l'equipaggiu.L'acqua hè pompata da l'equipaggiu di pruduzzione attraversu a pompa d'acqua à u scambiatore di calore per assicurà a temperatura di l'acqua di rinfrescante di u prucessu cuntrullendu a quantità di acqua fridda, è dopu mandata à l'equipaggiu di a linea di produzzione dopu avè passatu u filtru, è poi torna à a pompa d'acqua.U prucessu di furmazione di l'acqua di rinfrescante circula ripetutamente.L'acqua fridda hè tornata direttamente à u chiller.